洁净室能够分为三类，每一类都有各自的长处和缺陷：
1、乱流式
界说：气流以不均匀速度不平行活动、伴有回流或涡流的洁净室。
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两边隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状况。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
原理：乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐步稀释，来完成洁净的(乱流洁净室通常规划在千级以上至30万级净化等级)。
特性：乱流洁净室是靠屡次换气来完成洁净与洁净等级。换气次数决定界说中的净化等级(换气次数越多，净化等级越高)
(1) 自净时刻：是指洁净室按规划换气次数开端送风到洁净室，室内含尘浓度到达所规划的净化等级的时刻。1,000级期望不超过20分钟(可取分钟核算)10,000级期望不超过30分钟)(可取25分钟核算)100,000级期望不超过分钟(可取30分钟核算)
(2) 换气次数(按上述自净时刻请求规划)1,000级43.5—55.3次/小时(标准:50次/小时)10,000级23.8—28.6次/小时(标准:25次/小时)100,000级14.4—19.2次/小时(标准:15次/小时)
长处：结构简略、体系缔造本钱，洁净室之扩大对比简略，在某些特殊用处场所，可并用无尘作业台，进步洁净室等级。
缺陷：乱流形成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程商品。别的若体系中止作业再激活，欲达需要之洁净度，通常须耗时适当长一段时刻。
2、层流式
层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由掩盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两边隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境运用，通常其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种：
(1) 水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙面之回风体系回风，尘土随风向排出室外，通常在下流侧污染较严峻。
长处：结构简略，作业后短时刻内即可成为安稳。
缺陷：缔造费用比乱流式高，室内空间不易扩大。
(2) 笔直层流式：房间天花板彻底以ULPA过滤器掩盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或作业人员所发生的尘土可疾速排出室外而不会影响其它作业区域。
长处：办理简略，作业开端短时刻内即可达安稳状况，不易为作业状况或作业人员所影响。
缺陷：结构费用较高，弹性运用空间艰难，天花板之吊架适当占空间，修理替换过滤器较费事。
3、复合式
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供部分超洁净之空气。
(1) 洁净地道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或作业区域100%掩盖使洁净度等级进步至10级以上，可节约装置作业费用。
此型式需将作业人员之作业区与商品和机器修理予以阻隔，以防止机器修理时影响了作业及质量，ULSI制程大都选用此种型式。
洁净地道还有二项长处：A.弹性扩大简略；B.修理设备时可在修理区容易履行。
(2) 洁净管道：将商品流程通过的自动出产线围住并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因商品和作业员及发尘环境彼此阻隔，少数之送风即可得到良好之洁净度，可节约能源，不需人工的自动化出产线为最适合运用。药品、食物业界及半导体业界均适用。
(3) 并装部分洁净室：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之商品制程区的洁净度等级进步为10~1000级以上，以为出产之用;洁净作业台、洁净棚、装配式洁净室、洁净衣柜即属此类。
