日期:2024-12-18 16:11
内主流的MFC产品采用传统的电磁比例阀技术，性能参数差，产品力不足，无法满足半导体行业高精度、高可靠性、快速响应的需求。而日本Horiba、美国MKS、荷兰Bronkhorst等业内龙头企业已然推出基于压电比例阀的半导体级MFC产品。相较而言，压电比例阀响应快，控制精度高，能够实现气体流量的快速调整，满足半导体制造过程对快速响应的要求。同时，压电比例阀功耗和热噪声低，减少了能源消耗和对环境的影响。
为满足不同应用需求，青岛芯笙公司为新产品匹配了两种版本：DF500和S700。其中，DF500采用层流差压技术方案，在控制范围和小流量精度