日期:2024-12-18 16:11
更有优势;S700采用毛细管热式技术方案，具有更宽的量程选择和工作温度。两种版本均采用了国际领先的高速压电比例阀和SEMI标准材质，并配备了压力不敏感(PI)技术和公司最新研发的自适应动态控制算法，可在全量程流量范围内实现高精度快速控制，完美适配 7nm、14nm 及以上工艺节点的 Etch、ALD、CVD 等半导体工艺设备。
四、任重道远，扬帆破浪
在半导体级MFC这个赛道上，我国研究起步较晚，技术和产品受制于西方国家，严重威胁着我国半导体产业的链条完整性和安全性。目前，青岛芯笙公司在避开国外专利的情况下，实现技术突破，已经完成了