日期:2015-10-12 11:50
特殊用处场所，可并用无尘作业台，进步洁净室等级。
缺陷：乱流形成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程商品。别的若体系中止作业再激活，欲达需要之洁净度，通常须耗时适当长一段时刻。
2、层流式
层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由掩盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两边隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境运用，通常其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种：
(1) 水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙面之回风体系回风，尘土随风向排出室外，通