日期:2015-10-12 11:50
以复合或并用，可提供部分超洁净之空气。
(1) 洁净地道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或作业区域100%掩盖使洁净度等级进步至10级以上，可节约装置作业费用。
此型式需将作业人员之作业区与商品和机器修理予以阻隔，以防止机器修理时影响了作业及质量，ULSI制程大都选用此种型式。
洁净地道还有二项长处：A.弹性扩大简略；B.修理设备时可在修理区容易履行。
(2) 洁净管道：将商品流程通过的自动出产线围住并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因商品和作业员及发尘环境彼此阻隔，少数之送风即可得到良好之洁净度